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國內一般實驗室都不具備防塵、過濾塵埃的設施，ICP光譜儀需要進行防塵處理。
當實(shi)驗室內需要采用(yong)排(pai)風機，排(pai)除(chu)儀器的(de)熱量(liang)及工(gong)作時(shi)產生(sheng)的(de)有毒(du)氣體時(shi)，實(shi)驗室與外部就形成壓(ya)力差，實(shi)驗室產生(sheng)負壓(ya)，室外含有大量(liang)灰塵(chen)(chen)(chen)的(de)空氣從門窗的(de)縫隙中流入室內，大量(liang)積(ji)聚在ICP光譜儀的(de)各個部位上，容易造成高壓(ya)組件或(huo)接(jie)頭(tou)打火，電(dian)路(lu)板及接(jie)線(xian)、插座等(deng)短路(lu)、漏(lou)電(dian)等(deng)各種各樣的(de)故(gu)障，因此(ci)，ICP光譜儀需要經常進行(xing)除(chu)塵(chen)(chen)(chen)。特別是計算機、電(dian)子控制電(dian)路(lu)、高頻發(fa)生(sheng)器、顯示器、打印機、磁盤驅動器等(deng)，定期拆(chai)卸或(huo)打開，用(yong)小毛刷清掃，并同時(shi)使用(yong)吸(xi)塵(chen)(chen)(chen)器將(jiang)各個部分的(de)積(ji)塵(chen)(chen)(chen)吸(xi)除(chu)。
對光(guang)電倍增管負高壓電源線、及(ji)(ji)計算機顯示器(qi)的高壓線及(ji)(ji)接頭，還要(yao)用紗布(bu)沾上少許無水酒(jiu)精小心的抹除積炭和(he)灰塵(chen)。ICP光(guang)譜儀(yi)的磁盤驅動器(qi)及(ji)(ji)打(da)印(yin)(yin)機清出灰塵(chen)之(zhi)后(hou)，要(yao)在(zai)機械活動部(bu)件滴(di)加少許儀(yi)表油。打(da)印(yin)(yin)機的打(da)印(yin)(yin)頭還要(yao)拆下(xia)，ICP光(guang)譜儀(yi)要(yao)用軟毛刷刷掃，并用絨(rong)布(bu)抹凈，防(fang)止針孔被紙屑堵塞，然(ran)后(hou)按照說明書調整一定的打(da)印(yin)(yin)壓力。
對于儀(yi)器除塵，一般由電(dian)子，儀(yi)修或計算機的專(zhuan)業人員幫助，ICP光譜儀(yi)儀(yi)器使用或管理人員如不懂(dong)電(dian)子知識，不了解儀(yi)器結(jie)構(gou)，不要輕易去動，以免發生意(yi)外，除塵應事先停機并關掉供電(dian)電(dian)源(yuan)下(xia)進行。
